變壓吸附制氧機是生產氮氣(或液氮)和氬、氖氦、氪氙等混合氣體的成套設備。一般來說，空分設備多用于制氧。

變壓吸附真空解吸制氧機(簡稱VPSA制氧機)，即在穿透大氣壓的條件下，利用VPSA專用分子篩選擇性吸附空氣中的氮氣、二氧化碳、水等雜質，并在抽真空的條件下解吸分子篩，從而循環制備高純氧(90~94%)。VPSA能耗低，設備越大，能耗越低。

變壓吸附制氧機的工藝描述

變壓吸附制氧機主要由鼓風機、真空泵、開關閥、吸附器和氧氣平衡罐組成。在通過抽吸過濾器從原料中除去塵粒后，空氣由羅茨鼓風機加壓至0.3-0.5巴，并進入其中一個吸附器。吸附器內填充吸附劑，其中水、二氧化碳和少量其他氣體成分被吸附器入口處底部填充的活性氧化鋁吸附，然后氮氣被填充在活性氧化鋁上部的沸石分子篩吸附。而氧氣(包括氬氣)是非吸附組分，其作為產品氣體從吸附器的頂部出口排放到氧氣平衡罐。

當吸附器吸附到一定程度時，其中的吸附劑將達到飽和狀態。此時用真空泵通過切換閥進行抽真空(與吸附方向相反)，真空度為0.65-0.75barg，將吸附的水分、二氧化碳、氮氣和少量其他氣體成分抽出排放到大氣中，吸附劑再生。

變壓吸附制氧機的每個吸附器交替執行以下步驟:

-吸附-解吸-沖壓

以上三個基本工藝步驟由PLC和開關閥系統自動控制。

變壓吸附制氧機技術特征

1.能耗相對較低。氧氣產量越大，能耗越低。

2.維護成本低，動力設備是羅茨鼓風機和羅茨真空泵，因為它們的工作原理是容積式、無油、易于維護。

3.整套設備自動化程度高。動力設備和氧氣發生器同步控制。只需按下啟動按鈕，整套設備即可正常運行。

4.適合中大型輸出。